小型臺式無掩膜光刻系統(tǒng)

設(shè)備簡介
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小型臺式無掩膜光刻系統(tǒng)是英國Durham Magneto Optics公司專為實驗室設(shè)計開發(fā)，為微流控、SAW、半導(dǎo)體、自旋電子學(xué)等研究領(lǐng)域提供方便高效的微加工方案。

傳統(tǒng)的光刻工藝中所使用的鉻玻璃掩膜板需要由專業(yè)供應(yīng)商提供，但是在研發(fā)環(huán)境中，掩膜板的設(shè)計通常需要經(jīng)常改變。無掩膜光刻技術(shù)通過以軟件設(shè)計電子掩膜板的方法，克服了這一問題。與通過物理掩膜板進行光照的傳統(tǒng)工藝不同，激光直寫是通過電腦控制一系列激光脈沖的開關(guān)，在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。

Microwriter ML 3 是一款多功能激光直寫光刻系統(tǒng)，具有結(jié)構(gòu)小巧緊湊(70cm X 70cm X 70cm)，無掩膜直寫系統(tǒng)的靈活性，還擁有高直寫速度，高分辨率的特點。采用集成化設(shè) 計，全自動控制，可靠性高，操作簡便。適用于各種實驗室桌面。

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產(chǎn)品特點

Focus Lock 自動對焦功能

Focus lock 技術(shù)是利用自動對焦功能對樣品表面高度進行探測，并通過 Z 向調(diào)整和補償，以保證曝光分辨率。

光學(xué)輪廓儀

Microwriter ML3 配備光學(xué)輪廓探測工具，用于勻膠后沉積層，蝕刻層， MEMS 等前道結(jié)構(gòu)的形貌探測與套刻。 Z 向最高精度 100 nm ，方便快捷。

標(biāo)記物自動識別

點擊“ Bulls-Eye” 按鈕，系統(tǒng)自動在顯微鏡圖像中識別光刻標(biāo)記。標(biāo)記物被識別后，將自動將其移動到顯微鏡中心位置。

別直寫前預(yù)檢查

軟件可以實時顯微觀測基體表面，并顯示預(yù)直寫圖形位置。通過實時調(diào)整位置、角度，直到設(shè)計圖形按要求與已有結(jié)構(gòu) 重合，保證直寫準(zhǔn)確。

簡單的直寫軟件

MicroWriter 由一個簡單直觀的 Windows 界面軟件控制。工具欄會引導(dǎo)使用者進行簡單的布局設(shè)計、基片對準(zhǔn)和曝光的基本操作。該軟件在 Windows10 系統(tǒng)下運行。

Clewin 掩模圖形設(shè)計軟件

• 可以讀取多種圖形設(shè)計文件（ DXF, CIF, GDSII, 等）

• 可以直接讀取 TIFF, BMP 等圖片格式

• 書寫范圍只由基片尺寸決定

產(chǎn)品參數(shù)

Microwriter ML3	基本型	增強型	旗艦型
最大樣品尺寸	155×155×7mm	155×155×7mm	230×230×15mm
最大直寫面積	149mm x 149mm	149mm x 149mm	195mm x 195mm
曝光光源	405 nm LED 1.5W	405 nm LED 1.5W	385 nm LED 適用于SU-8 （365+405nm雙光源可選）
直寫分辨率	1μm	1μm and 5 μm	0.6μm, 1μm, 2μm, 5μm
直寫速度	20 mm ² /m in @ 1μm	2 0mm ² /min @ 1μm 120mm ² / min @ 5μm	25mm ² /min @ 0.6μm 50mm ² /min @ 1μm 100mm ² /min @ 2μm 1 80mm ² /min @ 5μm
對準(zhǔn)顯微鏡鏡頭	x10	x3 and x10 自動切換	x3, x5, x10, x20 自動切換
多層套刻精度	±1μm	±1μm	±0.5μm
最小柵格精度	200nm	200nm	100nm
樣品臺最小步長	100nm	100nm	50nm
光學(xué)輪廓Z分辨率	無(可升級)	300nm	100nm
樣品表面自動對焦	是	是	是
灰度直寫(255級)	是	是	是
自動晶片檢查工具	無(可升級)	有	有
溫控樣品腔室	無 (可升級)	無 (可升級)	有
虛擬模板校準(zhǔn)工具	無(可升級)	無(可升級)	有
氣動減震光學(xué)平臺	無(可升級)	無(可升級)	有