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BlueWave是一家著名的美國半導(dǎo)體設(shè)備、材料生產(chǎn)商。BlueWave提供多種薄膜制備系統(tǒng),包括脈沖激光沉積(PLD)、電子束蒸發(fā)、熱蒸發(fā)、反應(yīng)濺射、熱絲化學(xué)氣相沉積(HFCVD)、熱化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(TCVD)。這些系統(tǒng)是最理想的薄膜與涂層合成設(shè)備??芍苽涞谋∧ぐǖ?、氧化物、多層膜、鉆石、石墨烯、碳納米管、2D材料。Blue Wave還提供相關(guān)系統(tǒng)配件,例如基片加熱裝置、原位監(jiān)測工具。此外,BlueWave還為您提供標(biāo)準(zhǔn)的薄膜以及材料涂層,例如氧化物涂層、導(dǎo)電薄膜、無定型或納米晶Si/SiC、晶體AlN-GaN、聚合物、納米鉆石、HFCVD鉆石涂層以及器件加工。
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